製程設備

製程設備

業務範疇

在半導體設備機台內部的微環境中,空氣、超純水與製程化學品的純淨度,直接決定了最終產品(例如半導體晶片)的功效與可靠度。

我們專為製程設備量身打造的系列產品,能在產品層級為階梯式潔淨防禦架構(Purity cascade)完成最後一哩路的完美閉環,營造出絕對必要的極致環境條件。

同時,當生產製程或材料本身可能成為微量污染源、並逐步侵蝕污染機台內部時,我們的產品能主動防護、全力捍衛並維持生產設備的生產效能。

在「保護製程設備免受微污染干擾」的技術領域中,我們持續為客戶及合作夥伴開發出兼具卓越效能與創新前瞻功能的新產品與解決方案。

我們的全系列技術解決方案,能完整涵蓋您產品的所有製造步驟——從材料儲存、輸送、製程加工,一路延伸至關鍵的計量與檢測控制(Metrological control)。